臺灣半導體菁英之搖籃

民國49年,交通大學電子研究所在聯合國特別基金會的協助下,設立「遠東電子電信訓練中心」,不僅開啟後來交大成為聞名於世的半導體科技研究重鎮的序幕,也為臺灣微電子產業的發展播下第一顆重要的種子。民國53年成立我國第一座半導體實驗室,也就是奈米中心的前身。自此交大廣招國內外學者共同從事研發工作,半導體實驗室逐步擴展為半導體中心,民國70年並接受教育部與國科會的支助與委託,成立半導體貴重儀器中心,成為我國唯一的半導體製程技術提供與服務中心,也成為國內大學中最重要的尖端人材培訓基地。

任務與貢獻

中心的基本任務與功能為建立與管理運作半導體共同實驗室,提供我國此領域內教授、研究生及業界研究人員執行前瞻性研究,亦對校內外所有研究人員提供技術服務。中心運作已近半世紀,在早期主事者的推動與辛勤耕耘下,成果卓然有成,除了幫助提升臺灣整體的研發水準之外,更訓練出一批半導體業界的高科技人才與科技領袖,扮演我國積體電路產業成功發展的樞紐。民國54年製作我國第一顆電晶體,民國55年製作第一枚積體電路。民國74年至81年,接受國科會之委託,協助策劃籌建國家毫微米元件實驗室(現改稱國家奈米元件實驗室),進行先進奈米元件之研究。凡此種種,說明本中心對於我國今日半導體科技的蓬勃興盛居功厥偉。

效率、彈性與節能

進入21世紀後,許多新興的應用研究,如有機元件、微機電、顯示器、生醫感測與奈米量子元件技術等,如雨後春筍般湧現。因應時局變化,中心規劃經費購置先進設備,並調整組織運作,簡化各項訓練與服務流程,期以更具效率與彈性的方式,提昇學校與我國奈米相關技術的研發動能。民國92年2月本中心正式更名為「奈米中心」,闡明其協助奈米相關技術開發的角色。為更有效運用有限的經費,近幾年來也致力於推動節能省碳的措施,如全面改善空調效能、調整設備操作規範、採用發光二極體照明等,各項工程於民國100年初陸續完工,用電量降低30%,年節省電費近新台幣一仟萬元。目前奈米中心共提供有近30項製程與分析設備開放服務,另外支援數十台由個別教授申請進駐的設備,從事各項前瞻領域的研究。未來奈米中心將致力提高行政服務效率,加強安全衛生防護,引進尖端研究設備,以建立親切、友善、安全的研究環境,做為交通大學邁向頂尖的後盾。

技術領域

目前中心的組織將技術支援與服務等相關業務,劃分由技術一組與二組負責 。技術一組主要職掌微影與蝕刻領域之製程與分析,技術二組則負責高溫與薄膜領域之製程與分析。各組設組長1人與組員若干人,專責技術開發、訓練 、機台維護與技術服務等工作項目。詳細機台規格與相關資訊,請詳見儀器設備簡介 

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