奈米中心主任
中文名字:林鴻志 教授
英文名字:Lin, Horng-Chih
電話:03-5712121-55601、54193
傳真:03-5714241
信箱: hclin@faculty.nctu.edu.tw  
負責儀器:24小時申請案件/四點探針(4-point Probe)/電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD)
專長學科:CMOS元件可靠性分析先進奈米元件結構設計與製造薄膜元件製作與分析

儀器委員

中文名字:吳耀銓教授
英文名字:Wu, Yew-Chung
電話:03-5712121-31555
傳真:03-57247271
信箱:sermonwu@faculty.nctu.edu.tw 
負責儀器:聚焦離子束與電子束顯微系統(FIB)
專長學科:薄膜電晶體、晶圓接合、光電半導體元件、III-V 族磊晶技術、蛋白質晶體成長
中文名字:李佩雯 教授
英文名字:Li, Pei-Wen
電話:03-5712121-54210
傳真:03-5724361
信箱:pwli@nctu.edu.tw
負責儀器:光罩製作系統(DWL-200)/圖形產生系統
專長學科:奈米電子工程半導體物理元件積體電路製程設計
中文名字:侯拓宏教授
英文名字:Hou, Tuo-Hung (Alex)
電話:03-5712121-54261
傳真:03-5724361
信箱:thhou@mail.nctu.edu.tw
負責儀器:雙面光罩對準曝光機(Mask Aligner)/光阻塗佈機(Spinner)/HMDS 真空烤箱
專長學科:奈米記憶體元件、分子電子元件、奈米製程技術、半導體元件物理
中文名字:崔秉鉞教授
英文名字:Tsui, Bing-Yue
電話:03-5712121-31570
傳真:03-5724361
信箱:bytsui@mail.nctu.edu.tw
負責儀器:濕式工作台(Wet Bench)/多腔體電漿蝕刻系統 (P5000E)/介電薄膜活性離子蝕刻系統A (/RIE-400iP))/介電薄膜活性離子蝕刻系統B(RIE 200L)/橢圓測試儀(Ellipsometer)
專長學科:半導體物理與元件、積體電路製程、電信量測分析
中文名字:陳冠能教授
英文名字:Chen, Kuan-Neng
電話:03-5712121-31558
傳真:03-5724361
信箱:knchen@mail.nctu.edu.tw
負責儀器:複晶矽活性離子蝕刻系統 (Poly-Si RIE)/高密度活性離子蝕刻系統 (HDP-RIE)/矽深蝕刻系統 (Si Deep-RIE)/博愛校區負責人
專長學科:三維積體電路 (3D IC)、晶圓接合薄化技術、矽晶直通孔 (TSV)
中文名字:劉柏村教授
英文名字:Liu, Po-Tsun
電話:03-5712121-52994
傳真:03-5737681
信箱:ptliu@mail.nctu.edu.tw
負責儀器:氧化擴散系統(Oxidation & Diffusion Furnances)/低壓化學沉積系統(LPCVD)
專長學科:積體電路與系統、半導體材料與元件、光電與薄膜技術
中文名字:趙天生教授
英文名字:Chao, Tien-Sheng
電話:03-5712121-31367
傳真:03-5725235
信箱:tschao@mail.nctu.edu.tw
負責儀器:原子層沈積系統(ALD)/全光譜反射式膜厚量測儀(Reflectometer)
專長學科:DTMOS元件的製作和可靠性分析、半導體元件物理PMOSFET的NBTI量測與分析、奈米元件製作
中文名字:鄭裕庭教授
英文名字:Cheng, Yu-Ting
電話:03-5712121-54169
傳真:03-5724361
信箱:ytcheng@mail.nctu.edu.tw
負責儀器:熱蒸鍍系統/高真空鍍膜系統(High Vacuum Deposition System)/真空濺鍍系統(Sputtering System)A、B兩部
專長學科:微光機電、奈米科技、系統封裝
中文名字:譚至善教授
英文名字:Tan, Chih-Shan
電話:03-5712121-54146
傳真:03-5724361
信箱:cstan@nctu.edu.tw
負責儀器:高解析度場射掃描電子顯微鏡(S-4700I)/冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器 (SEM SU-8010)
專長學科:化合物半導體、半導體電子結構、寬能帶半導體、有機光電元件
 

 

 
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