儀器區域:固態電子系統大樓219R、220R、221R、222R潔淨室  ※此區域限陽明交通大學電子所才可申請,且本流程依據陽明交通大學電子所規定辦理※

子教學實驗室內機台如下:

濕式工作台(Wet Bench)、黃光室設備(考核含光阻塗佈機、光罩對準曝 光機、加熱器、顯影清洗)、高溫爐管系統、電子鎗蒸鍍系統(E-Gun)、薄膜測厚儀(alpha stepper)、光學薄膜測厚儀、真空濺鍍系統(Sputter)、 PECVD(PD240)、 PECVD(Lee)、LPCVD(Lee) (申請使用高溫爐管系統以及LPCVD(Lee)者,需先通過教學實驗室內Wet Bench使用資格,才可以申請)

※電子教學實驗管理人:許智鈞先生
※每部機台需先完成周一至周五8:00~17:00門禁使用權限後,才可申請24小時(包含假日)門禁使用權限

務必詳讀儀器申請注意事項公告,以免損失自身權益,造成無法順利完成申請※

周一至周五8:00~17:00門禁使用權限申請流程如下:
一.儀器訓練申請:
(2).登入儀器管理系統完成線上註冊
(3).如已有奈米中心儀器使用權限者,只需登入儀器管理系統下載列印『非奈米中心儀器操作訓練申請表』(此申請表之儀器設備管理人、訓練員、檢定員請找許智鈞先生核章),表單簽核完成後至固態電子系統大樓二樓找何小姐辦理即可。
(4).無奈米中心儀器使用權限者,請登入儀器管理系統下載列印繳交下列資料,表單簽核完成後至固態電子系統大樓二樓找何小姐辦理。
基本資料表 (請張貼清楚的照片)
非奈米中心儀器操作訓練申請表  (此申請表之儀器設備管理人、訓練員、檢定員請找許智鈞先生核章)
使用規則同意書
學生證 or 職員證 or 學歷證件影本以及身份證明文件影印本 (文件內容須有職稱及聘雇日期) or 業界廠商與交大有合作計畫之證明文件(內容須註明合作期限)

半導體相關實驗課程」證書 or 半導體實驗成績單影本 or 操作機台或工廠相關實驗經驗相關證明 or 具有實驗經驗並曾做過之相關論文、專題相關證明(需經過單位主管簽名背書,證明申請人具無塵室操作經驗,以及需附上工作之在職證明文件或離職證明文件)

二.設定門禁設備權限
1.請於考核完3天後(不含假日)至固態電子系統大樓2F找何小姐詢問考核結果,通過者,即可設定門禁及設備使用權限。
2.要設定第二部機台使用權限者(不是初次申請者),會於收到考核通過申請表3天(不含假日)後開啟權限。
3.門禁設備權限設定說明如下:
開卡方式:
(1).校內人員 (學生/教授/職員):
※請攜帶學生證 or 職員證+300元(無塵室使用費)找何小姐辦理設定※
(2).校外人員 (下列方式2選1):
※請攜300元(門禁卡押金)+1,000元(無塵室使用費)找何小姐辦理設定※
※請攜有自己照片的悠遊卡+1,000元(無塵室使用費)找何小姐辦理設定※
退卡方式: 請找NFC陳小姐辦理,有退還門禁磁卡者,會退回押金300元。
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