奈微米機電實驗:     
2.真空濺鍍機 (Sputter)

3.三維輪廓及表面粗度量測儀 (Surface Profiler)

有機半導體實驗
1.蒸鍍機(Evaporator)
2.真空烤箱 (Vacuum dry oven)

3.手套箱 (Glove box)

微影實驗室
1.光罩對準曝光機 (Mask Aligner)
2.光阻塗佈機 (Spin Coater)
3.晒版機 (UV exposuer)

4.厚膜光阻塗佈機 (Thick P.R. Spinner)

奈米光電複合材料實驗室
1.手套箱 (Glory Box)

2.熱蒸鍍機 (Thermal Coater)

有機半導體實驗室
1.二號系統–熱阻式蒸鍍系統 (Thermal Evaporator)
2.三號系統–熱阻式蒸鍍系統 (Thermal Evaporator)
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