1.無法自行操儀器作者,可由下列2種方式委託代工:
(1).有科技部計畫者,請先至科技部貴重儀器資訊管理系統預約並取得預約編號,再下載下列委託代工申請單,將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人協助排程代工。
(2).無科技部計畫者,請直接下載下列委託代工申請單,將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人協助排程代工。
2.委託代工之費用可於儀器設備介紹中查詢,即有費用說明。
 機台委託代工申請單委託代工申請單儀器管理人
1濕式工作台 (Wet Bench)Word fileODF file 賴玟言
2全光譜反射式膜厚量測儀 (Reflectometer)Word fileODF file 賴玟言
3低壓化學氣相沉積系統 (LPCVD)Word fileODF file 賴玟言
4圖形產生系統 (Pattern Generator)Word fileODF file 蔡慶祥
5雷射光罩製作系統 (Laser Pattern Generator, DWL-200) Word fileODF file黃國華/蔡慶祥
6雙面光罩對準曝光機 (Double Side Mask Aligner)Word fileODF file趙建允
7負光阻顯影定影機&光阻塗佈機Word fileODF file趙建允
8探針式輪廓儀 (Dektak XT)Word fileODF file趙建允
9複晶矽活性離子蝕刻系統 (Poly-Si RIE)Word fileODF file 胡進章/李正維
10介電薄膜活性離子蝕刻系統 (RIE)Word fileODF file 胡進章/李正維
11高密度活性離子蝕刻系統 (HDP-RIE)Word fileODF file 胡進章/李正維
12電漿輔助化學氣相沉積系統 (PECVD)Word fileODF file賴玟言
13原子層化學氣相沉積系統 (ALD)Word fileODF file詹佳期
14橢圓測試儀 (Ellipsometer)Word fileODF file詹佳期
15氧化擴散系統 (Oxidation & Diffusion Furnaces )Word fileODF file林聖欽
16雙電子槍蒸鍍系統A (Dual E-Gun Evaporation System A)Word fileODF file林聖欽
17雙電子槍蒸鍍系統B (Dual E-Gun Evaporation System B)Word fileODF file倪月珍
18高真空鍍膜系統 (High Vacuum Deposition System)Word fileODF file倪月珍
19熱阻絲蒸鍍系統 (Thermal Evaporation Coater) Word fileODF file倪月珍
20真空濺鍍系統 (Sputtering System)Word fileODF file 張鎮顯
21四點探針 (4-point Probe)Word fileODF file 張鎮顯
22聚焦離子束與電子束顯微系統 (FIB)Word fileODF file
23冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器 (SEM SU-8010)Word fileODF file范秀蘭
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