技術一組(微影、蝕刻)
職稱
中文/英文名字
電話/傳真/信箱 負責業務 代理人
技術一組
組代表
胡進章 先生
Hu, Jack
辦公室:03-5712121轉55607
實驗室:03-5712121轉55689
傳真:03-5724241
信箱:jackhu@nycu.edu.tw
協調技術一組相關事務
負責下列儀器操作維護管理:
複晶矽活性離子蝕刻系統(Poly-Si RIE)
介電材料活性離子蝕刻系統(RIE 200L)
高密度活性離子蝕刻系統(HDP-RIE)
多腔體電漿蝕刻系統 (P5000E)
矽深蝕刻系統 (Si Deep-RIE)
李正維先生 (1代理人)
范秀蘭小姐 (2代理人)
技術一組
組員
李正維 先生
Lee, James
辦公室:03-5712121轉55660
實驗室:03-5712121轉55666
傳真:03-5724241
信箱:cwlee@nycu.edu.tw
負責下列儀器操作維護管理:
複晶矽活性離子蝕刻系統(Poly-Si RIE)
介電材料活性離子蝕刻系統(RIE 200L)
高密度活性離子蝕刻系統(HDP-RIE)
多腔體電漿蝕刻系統 (P5000E)
矽深蝕刻系統 (Si Deep-RIE)
胡進章先生 (1代理人)
黃國華先生 (2代理人)
技術一組
組員
范秀蘭 小姐
Fan, Hsiu-Lan
辦公室:03-5712121轉55672
實驗室:03-5712121轉55337/55676
傳真:03-5724241
信箱:shiulan@nycu.edu.tw
負責下列儀器操作維護管理:
高解析度場射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀(SEM S-4700I)
冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器(SEM SU-8010)
趙建允先生 (1代理人)
胡進章先生 (2代理人)
技術一組
組員
黃國華 先生
Huang, Guo-Hua
辦公室:03-5712121轉55659
實驗室:03-5712121轉55667
傳真:03-5724241
信箱:guohua@nycu.edu.tw
負責下列儀器操作維護管理:
光罩製作系統(Laser Pattern Generator, DWL-200)
蔡慶祥先生 (1代理人)
李正維先生 (2代理人)
技術一組
組員
蔡慶祥 先生
Tsai, Ching-Hsiang
辦公室:03-5712121轉55605
實驗室:03-5712121轉55616
傳真:03-5724241
信箱:ch-tsai@nycu.edu.tw
負責下列儀器操作維護管理:
光罩製作系統(Laser Pattern Generator, DWL-200)
圖形產生系統(Pattern Generator)
黃國華先生 (1代理人)
趙建允先生 (2代理人)
技術一組
組員
趙建允 先生
Chao , Jerry
辦公室:03-5712121轉55670
實驗室:03-5712121轉55667
傳真:03-5724241
信箱:jychaoa@nycu.edu.tw
負責下列儀器操作維護管理:
雙面光罩對準曝光機(Double Side Mask Aligner)
光阻塗佈機 (Photo Resist Spinner)
真空烤箱(Vacuum Oven)
光學顯微鏡(Optical Microscope)
探針式輪廓儀(Dektak XT)
范秀蘭小姐 (1代理人)
蔡慶祥先生 (2代理人)

技術二組(高溫、薄膜)

職稱
中文/英文名字
電話/傳真 負責業務 代理人
技術二組
組代表
林聖欽 先生
Lin, Sheng Chin
辦公室:03-5712121轉55668
實驗室:03-5712121轉55610
傳真:03-5724241
信箱:ck1325@nycu.edu.tw
協調技術二組相關事務
負責下列儀器操作維護管理:
氧化擴散系統(Oxidation & Diffusion Furnances)
雙電子槍蒸鍍系統 A (Dual E-Gun Evaporation System A)
賴玟言先生 (1代理人)
倪月珍小姐 (2代理人)
技術二組
組員
辦公室:03-5712121轉55608
實驗室:03-5712121轉55368
傳真:03-5724241
信箱:
負責下列儀器操作維護管理:
聚焦離子束與電子束顯微系統 (Dual beam [focused ion beam & electron beam] System)  FIB
林聖欽先生 (1代理人)
賴玟言先生 (2代理人)
技術二組
組員
倪月珍小姐
Ni, Yuech Chen
辦公室:03-5712121轉55669
實驗室:03-5712121轉55608
傳真:03-5724241
信箱:ycni@nycu.edu.tw
負責下列儀器操作維護管理:
雙電子槍蒸鍍系統 B(Dual E-Gun Evaporation System B)
阻絲蒸鍍系統(Thermal Evaporation Coater)
高真空鍍膜機 (High Vacuum Deposition System)
氦氣測漏儀
詹佳期先生 (1代理人)
范揚禎先生 (2代理人)
技術二組
組員
詹佳期先生
Chan, Chia-Chi
辦公室:03-5712121轉55622
實驗室:03-5712121轉55616/55666
傳真:03-5724241
信箱:chiachichan@nycu.edu.tw
負責下列儀器操作維護管理:
原子層化學氣相沉積系統(ALD)
低壓化學沉積系統(LPCVD)

橢圓測試儀 (Ellipsometer)

倪月珍小姐 (1代理人)
技術二組
組員
賴玟言 先生
Lai, White
辦公室:03-5712121轉55606
實驗室:03-5712121轉55616
傳真:03-5724241
信箱:white@nycu.edu.tw
負責下列儀器操作維護管理:
濕式工作台(Wet Bench)
低壓化學沉積系統(LPCVD)
漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD)
全光譜反射式膜厚量測儀(Reflectometer)
范揚禎先生 (1代理人)
林聖欽先生 (2代理人)
技術二組
組員
張鎮顯 先生
Chang, Chen-Hsien
辦公室:03-5712121轉55657
實驗室:03-5712121轉55608
傳真:03-5724241
信箱:hsien@nycu.edu.tw
負責下列儀器操作維護管理:
真空濺鍍系統(Sputtering System)A, B兩台
四點探針(4-point Probe)
倪月珍小姐 (1代理人)
賴玟言先生 (2代理人)
技術二組
組員
范揚禎 先生
Fan, Yang-Chen
辦公室:03-5712121轉5561
實驗室:03-5712121轉55616
傳真:03-5724241
信箱:joseph@nycu.edu.tw
化學藥品、顯影液採購
無塵室口罩、手套採購管理、現場供應、巡查盤點等作業
廢液統計、回收等作業
廠務氣體設備巡查抄表、狀況回報
公文、信件傳遞收送
無塵衣整理送洗
賴玟言先生(1代理人)
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